*.vmx -> Arquivo que descreve a configuração da máquina virtual;

*.vmdk texto -> Arquivo que descreve a configuração do disco virtual e pode ser mais de um arquivo dependendo da quantidade de discos que você adicionou em sua máquina virtual.

*.vmdk binário -> Arquivo que é responsável pelo disco virtual é nele que esta armazenado as informações feitas quando a máquina virtual esta online.

*0000*.vmdk binário -> Arquivo que contém as alterações realizadas após o snapshot.

*.nvram -> Arquivo que contém a configuração da BIOS(Virtual) da máquina virtual.

*.vmem -> Arquivo que contém dados da Ram quando utilizada.

*.vmsd -> Arquivo que descreve o snapshot.

*.vmss -> Arquivo que contém as informações armazenadas na mémoria Ram quando é realizado o processo de suspender uma máquina virtual

Os arquivos importantes para serem backupeados são:
*.vmss caso tenha alguma maquina suspensa.
*.vmdk e *.vmx.
Lembrando que caso tenha configurado o comportamento ou tipo do disco, existem outros arquivos que devem ser backupados:
*s00*.vmdk, *f00*.vmdk, flat.vmdk